АЗОТИРОВАНИЕ СТАЛИ 40Х В ПЛАЗМЕ НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНОГО ДУГОВОГО РАЗРЯДА С НАКАЛЕННЫМ КАТОДОМ ПРИ ИМПУЛЬСНОМ ИОННОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

DOI 10.31554/978-5-7925-0524-7-2018-122-125

АЗОТИРОВАНИЕ СТАЛИ 40Х В ПЛАЗМЕ НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНОГО ДУГОВОГО РАЗРЯДА С НАКАЛЕННЫМ КАТОДОМ ПРИ ИМПУЛЬСНОМ ИОННОМ ВОЗДЕЙСТВИИ

Н.Н. Коваль1, И.В. Лопатин1, О.В. Крысина1, Ю.Х. Ахмадеев1, Д.Ю. Игнатов1, А.И. Рябчиков2, Д.О. Сивин2

1 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
2 Национальный исследовательский Томский политехнический университет Россия, 634055, Томск
e-mail: ahmadeev@opee.hcei.tsc.ru

Представлены результаты азотирования стали 40Х. Генерация плазмы осуществлялась с помощью источника плазмы на основе несамостоятельного дугового разряда с накаленным и полым катодами. Исследовано влияние температуры образцов на характеристики ионно-модифицированного слоя. Температура образцов выбиралась в пределах от 450 °С до 650 °С путем изменения коэффициента заполнения импульса смещения и средней плотности ионного тока. Показано, что микротвердость стали после азотирования увеличивается практически в 2 раза (с 3.6 ГПа до 7.1 ГПа) с формированием модифицированного слоя глубиной до 200 мкм за 1 час.