ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИОННОГО ПОТОКА НА СТРУКТУРУ И СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ ИЗ Α-ОКСИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧАЕМЫХ В ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ РЕАКТИВНЫМ АНОДНЫМ ИСПАРЕНИЕМ C ИОННЫМ СОПРОВОЖДЕНИЕМ

DOI   10.31554/978-5-7925-0524-7-2018-126-133

ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИОННОГО ПОТОКА НА СТРУКТУРУ И СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ ИЗ Α-ОКСИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧАЕМЫХ В ДУГОВОМ РАЗРЯДЕ РЕАКТИВНЫМ АНОДНЫМ ИСПАРЕНИЕМ C ИОННЫМ СОПРОВОЖДЕНИЕМ

Н.В. Гаврилов, А.С. Каменецких, П.В. Третников, А.В. Чукин

Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук Россия, 620016, Екатеринбург
e-mail: alx@iep.uran.ru

Покрытия из оксида алюминия получены в дуговом разряде методом реактивного термического анодного испарения алюминия с интенсивным ионным сопровождением. Изучено влияние величины напряжения смещения и плотности ионного тока на структуру и свойства α-фазы Al2O3, формирующейся на
подложке из нержавеющей стали с изоструктурным Cr2O3 подслоем при 600 оС.