СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ TIN-CU НА ПРИНЦИПЕ СОПРЯЖЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ TI И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ CU В ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКЕ ВУ-1Б

DOI   10.31554/978-5-7925-0524-7-2018-134-138

СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ TIN-CU НА ПРИНЦИПЕ СОПРЯЖЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ TI И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ CU В ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКЕ ВУ-1Б

А.П. Семенов, Д.Б.-Д. Цыренов, И.А. Семенова, Н.Н. Смирнягина

Институт физического материаловедения СО РАН 670047 Улан-Удэ, Россия
e-mail:  semenov@pres.bscnet.ru;  alexandersemenov@mail.ru

Разработан плазмохимический реактор на принципе сопряжения газоразрядных процессов в вакуумной установке ВУ-1Б, объединяющих дуговое испарение титана в азотсодержащей плазме и ионно-плазменное распыление меди с образованием паров меди. Проведен синтез покрытий TiN в парах Cu с образованием нанокристаллических композитных покрытий TiN-Cu.