DOI 10.31554/978-5-7925-0524-7-2018-134-138
СИНТЕЗ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ TIN-CU НА ПРИНЦИПЕ СОПРЯЖЕНИЯ ПРОЦЕССОВ ВАКУУМНО-ДУГОВОГО ИСПАРЕНИЯ TI И МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ CU В ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКЕ ВУ-1Б
А.П. Семенов, Д.Б.-Д. Цыренов, И.А. Семенова, Н.Н. Смирнягина
Институт физического материаловедения СО РАН 670047 Улан-Удэ, Россия
e-mail: semenov@pres.bscnet.ru; alexandersemenov@mail.ru
Разработан плазмохимический реактор на принципе сопряжения газоразрядных процессов в вакуумной установке ВУ-1Б, объединяющих дуговое испарение титана в азотсодержащей плазме и ионно-плазменное распыление меди с образованием паров меди. Проведен синтез покрытий TiN в парах Cu с образованием нанокристаллических композитных покрытий TiN-Cu.
