МОДЕЛИРОВАНИЕ АЗОТИРОВАНИЯ СТАЛИ 40Х ВЫСОКОИНТЕНСИВНЫМ СФОКУСИРОВАННЫМ ИОННЫМ ПУЧКОМ

DOI 10.31554/978-5-7925-0524-7-2018-173-177

МОДЕЛИРОВАНИЕ АЗОТИРОВАНИЯ СТАЛИ 40Х ВЫСОКОИНТЕНСИВНЫМ СФОКУСИРОВАННЫМ ИОННЫМ ПУЧКОМ

Чан Ми Ким Ан, Т.В. Коваль

Национальный исследовательский Томский политехнический университет 634050, пр. Ленина 30, Томск, Россия
е-mail: tranmykiman@gmail.com, tvkoval@mail.ru

В терминах параметров азотирования получены уравнения, которые могут быть использованы для расчета толщины составного слоя с учетом распыления поверхности стали 40Х низкоэнергетическим (1-3 keV) интенсивным ионным пучком (с плотностью тока до 0.5 A/cm2). Проведено исследование влияния плотности ионного тока на глубину азотирования и изменение микроструктуры. Результаты численных расчетов сопоставляются с экспериментами.