DOI 10.31554/978-5-7925-0524-7-2018-201-203
ИССЛЕДОВАНИЕ СПЕКТРОВ ПРОПУСКАНИЯ И ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК TIO2, СИНТЕЗИРОВАННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Н.И. Сушенцов, С.А. Степанов, Д.Е. Шашин, Е.В. Михеева
Поволжский государственный технологический университет
424000 Йошкар-Ола, Россия
e-mail: dima_shashin@rambler.ru
Рассмотрена методика получения магнетронным распылением тонких пленок TiO2 и определены их оптические свойства (спектры пропускания и показатель преломления).
