DOI 10.31554/978-5-7925-0655-8-2023-138-143
ОСОБЕННОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР AINI МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Сушенцов Н. И., Шашин Д. И., Дьячков А. Д., Габдуллин П. Г., Квашенкина О. Г.
Поволжский государственный технологический университет (ПГТУ)
424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3, Россия
E-mail: ShashinDE@volgatech.net
Данная работа посвящена получению тонких пленок AlNi методом магнетронного распыления и особенностям, возникшим в ходе этого процесса. В тексте описано оборудование, в том числе программное обеспечение для получения многослойных структур. Рассмотрены результаты проведенных экспериментов и разработанный технологический процесс.
