ОСОБЕННОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР AINI МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

DOI 10.31554/978-5-7925-0655-8-2023-138-143

ОСОБЕННОСТИ ПОЛУЧЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР AINI МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Сушенцов Н. И., Шашин Д. И., Дьячков А. Д., Габдуллин П. Г., Квашенкина О. Г.
Поволжский государственный технологический университет (ПГТУ)
424000, Йошкар-Ола, пл. Ленина, 3, Россия
E-mail: ShashinDE@volgatech.net

Данная работа посвящена получению тонких пленок AlNi методом магнетронного распыления и особен­ностям, возникшим в ходе этого процесса. В тексте описано оборудование, в том числе программное обеспече­ние для получения многослойных структур. Рассмотрены результаты проведенных экспериментов и разрабо­танный технологический процесс.