DOI 10.31554/978-5-7925-0655-8-2023-197-201
КЕРАМИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ ВЫСОКОЭНТРОПИЙНОГО СПЛАВА, СФОРМИРОВАННЫЕ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ
Иванов Ю. Ф., Шугуров В. В., Ахмадеев Ю. Х., Прокопенко Н. А., Петрикова Е. А., Тересов А. Д., Толкачев О. С., Крысина О. В., Коваль Н. Н.
Институт сильноточной электроники СО РАН (ИСЭ СО РАН)
634055, Томск, пр-т. Академический, 2/3, Россия
E-mail: yufi55@mail.ru
Рассмотрены результаты, полученные при исследовании структуры и свойств керамических пленок на основе высокоэнтропийного сплава (ВЭС). Керамические пленки ВЭС формировали путем осаждения на металлические подложки многоэлементной газо-металлической плазмы, созданной ионно-плазменным методом при одновременном распылении четырех катодов (Cu,Zr,Nb,Ti-50% Al) в плазме (N+Ar).
