DOI 10.31554/978-5-7925-0655-8-2023-202-207
ТРИБОМЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА TISICN ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ ИСПАРЕНИЕМ ТИТАНА И РАЗЛОЖЕНИЕМ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА В РАЗРЯДЕ С САМОНАКАЛИВАЕМЫМ ПОЛЫМ КАТОДОМ
Меньшаков А. И., Брюханова Ю. А.
Институт Электрофизики УрО РАН (ИЭФ УрО РАН) 620016, Екатеринбург, ул. Амундсена, 106, Россия E-mail: menshakovandrey@mail.ru
Методом реактивного анодного испарения титана в дуговом разряде самонакаливаемым полым катодом в Ar+C2H2+N2-газовой смеси с добавлением гексаметилдисилазана (ГМДС) были получены плотные однородные нанокомпозитные TiSiCN покрытия толщиной до 15 мкм, твердостью до 43 ГПа и коэффициентом износа 2,8-10-14 м2/Н. Показано, что меняя давление, состав и степень активации парогазовой смеси можно в широких пределах менять микроструктуру и свойства покрытий, получаемых данным методом. Увеличение потоков C2H2, N2, ГМДС а также тока разряда приводит к росту скорости формирования покрытий. Однако оптимальные с точки зрения микротвердости и износостойкости покрытия получены при низком токе разряда 10 А и относительно низком содержании С2H2 (1 см3/мин) и ГМДС (0,3 г/ч), превышение которых приводит к снижению твердости пленок и ухудшению их качества, что может объясняться чрезмерным ионным воздействием и неоптимальным химическим составом покрытий.
