СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТВЕРДОГО ЭЛЕКТРОЛИТА LIPON ТЕРМИЧЕСКИМ ИСПАРЕНИЕМ ОРТОФОСФАТА ЛИТИЯ

DOI 10.31554/978-5-7925-0655-8-2023-208-216

СИНТЕЗ ТОНКИХ ПЛЕНОК ТВЕРДОГО ЭЛЕКТРОЛИТА LIPON ТЕРМИЧЕСКИМ ИСПАРЕНИЕМ ОРТОФОСФАТА ЛИТИЯ

Гаврилов Н. В., Каменецких А. С., Третников П. В., Ершов А. А.
Институт электрофизики УрО РАН (ИЭФ УрО РАН)
620016, Екатеринбург, ул. Амундсена, 106, Россия
E-mail: alx@iep.uran.ru

Описан метод синтеза пленок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) термическим испарением Li₃PO₄ в азотной плазме разряда низкого давления, обеспечивающий получение пленок с однородной микроструктурой и ионной проводимостью (1-2)^.10^-6 См/см со скоростью 0,5-1 мкм/ч. Приведены схема напылительной системы, параметры процесса синтеза пленок LiPON и результаты исследования структуры пленок и их свойств.