DOI 10.30792/978-5-7925-0684-8-2026-92-96
ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОТОТИПА ИСТОЧНИКА ИОНОВ АЛЮМИНИЯ ДЛЯ УСТАНОВОК ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ
Мамедов Н. В.1, 2, Казиев А. В.2, Третьяков Е. В.1, Синельников Д. Н.2, Ефимов Н. Е.2, Тумаркин А. В.2, Колодко Д. В.2
1 Научно-исследовательский институт точного машиностроения (АО НИИТМ)
Москва, Зеленоград, Россия
2 Национальный исследовательский ядерный университет МЭФИ (Московский инженерно-физический ин-ститут)
Москва, Россия
E-mail: nmamedov@niitm.ru
В работе исследован прототип магнетронного источника ионов алюминия для установок ионной имплантации, предназначенных для технологий на основе карбида кремния (SiC). Изучено влияние параметров разряда на состав и характеристики ионного потока. Разработан и испытан прототип источника, обеспечивающий формирование пучков Al⁺ с плотностью тока более 3 мА/см2. Показана перспективность применения магнетронного разряда в высоковольтных имплантерах.
