DOI 10.30792/978-5-7925-0684-8-2026-122-128
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ТВЕРДОГО АМОРФНОГО ЭЛЕКТРОЛИТА, СИНТЕЗИРОВАННЫЕ АНОДНЫМ ТЕРМИЧЕСКИМ ИСПАРЕНИЕМ LIPO3 В AR/N2 ПЛАЗМЕ
Каменецких А. С.1, 2, Третников П. В.1, Лепеха С. В.3, Мандрыгина Д. А.3
1 Институт электрофизики УрО РАН
620016, г. Екатеринбург
2 Уральсткий государственный университет
620062, г. Екатеринбург
3 Институт геологии и геохимии им. ак. Заварицкого УрО РАН
620110, г. Екатеринбург
E-mail: alx@iep.uran.ru
Анодным термическим испарением LiPO3 в дуге низкого давления (Ar/N2) получены пленки твердого аморфного электролита. В пленках сформирована структура, которая состоит из различных групп фосфатных тетраэдров, в том числе с 1-2 мостиковыми связями, что обеспечивает высокую подвижностью ионов Li. Достигнуто увеличение концентрации ионов в пленках в 20 раз разложением прекурсора в плазме разряда, что в совокупности обеспечило повышение ионной проводимости пленок вплоть до 1,7·10-5 См/cм. Исследованы конденсаторные структуры с полученными пленками и показано, что локальное увеличение концентрации Li, достигаемое введением промежуточного слоя ортофосфата лития (Li3PO4), допированного азотом, позволяет повысить удельную емкость на порядок величины и сохранить высокую ионную проводимость при ограниченной на 200 нм толщине граничного слоя.
