DOI 10.30792/978-5-7925-0684-8-2026-129-132
ОСАЖДЕНИЕ В ВАКУУМЕ ПОКРЫТИЙ TIN-CU НА БЫСТРОРЕЖУЩУЮ СТАЛЬ Р18 МЕТОДОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ
Цыренов Д. Б.-Д., Семенов А. П., Улаханов Н. С., Семенова И. А.
Институт физического материаловедения СО РАН (ИФМ СО РАН)
670047, г. Улан-Удэ, ул. Сахьяновой, 6, Россия
E-mail: dmitriyzak@mail.ru
Рассмотрено осаждение на быстрорежущей инструментальной стали Р18 композитных покрытий TiN-Cu на основе плазмохимических процессов вакуумно-дугового испарения Ti в азотсодержащей плазме и магнетронного ионно-плазменного распыления Cu. Определены технологические параметры синтеза: ток дугового разряда, ток и напряжение горения магнетронного разряда, давление смеси газов в вакуумной камере, температура ростовой поверхности, напряжение смещения, время препарирования ростовой поверхности и синтеза. Выполнен рентгенофазовый, рентгеноспектральный микроанализ и металлографический анализ структуры поверхности композитных покрытий TiN-Cu. Немонотонный характер зависимости микротвердости от содержания меди в ат.% в покрытии, указывает на достижение максимальной микротвердости ~ 40 ГПа при содержании меди 3,5-5,5 ат.%.
