DOI 10.30792/978-5-7925-0684-8-2026-188-192
АНИЗОТРОПНОЕ ТРАВЛЕНИЕ СТЕКЛА В ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМЕ CF4/AR: ЗАВИСИМОСТЬ СКОРОСТИ И КАЧЕСТВА ОТ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
Калашников С. В.1, Чимытов Т. А.1, 2
1 Институт физического материаловедения СО РАН
670047, г. Улан-Удэ, ул. Сахьяновой, 6, Россия
2 Бурятский государственный университет имени Доржи Банзарова
670000, г. Улан-Удэ, ул. Смолина 24а, Россия.
E-mail: betch_kail@mail.ru
Представлены результаты систематического исследования анизотропного травления стекла в индуктивно-связанной плазме (ICP) смеси CF4/Ar. Изучены зависимости скорости травления и шероховатости поверхности от основных технологических параметров: мощности ICP-источника (250–700 Вт), мощности ВЧ-смещения подложкодержателя (0–300 Вт), давления в камере (8–30 Па), состава газовой смеси (доля Ar от 5 до 65%), расстояния от источника до подложки (77–127 мм), а также от типа стекла (силикатное vs кварц). Обнаружен парадоксальный эффект снижения скорости травления с 68 до 48 нм/мин при увеличении мощности смещения от 0 до 300 Вт, объясняемый конкуренцией химического и физического механизмов. Показано, что оптимальная доля аргона в смеси составляет около 25%. Для кварца шероховатость травленой поверхности в 2–3 раза ниже, чем для силикатного стекла. Достигнута скорость травления до 70 нм/мин, шероховатость дна менее 0,5 мкм, глубина каналов до 30 мкм при угле наклона стенок ≈85°.
